據(jù)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公開數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，工藝設(shè)備中的 CVD、刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)明顯，而光刻、離子注入、工藝控制、涂膠/顯影等關(guān)鍵設(shè)備仍 100%依賴進(jìn)口品牌。鑒于華虹（無(wú)錫）項(xiàng)目后續(xù)設(shè)備采購(gòu)可持續(xù)，加上90-55nm 的 12 英寸特殊工藝生產(chǎn)線還有廈門士蘭微、上海積塔半導(dǎo)體等已啟動(dòng)在建項(xiàng)目，積淀 10多年的老牌國(guó)產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商迎來(lái) 5-10年時(shí)代大機(jī)遇。

華虹（無(wú)錫）項(xiàng)目：90-55nm 制程的 12 英寸特色工藝產(chǎn)線，類似產(chǎn)線還有上海積塔半導(dǎo)體、廈門士蘭微已開工建設(shè)。

華虹（無(wú)錫）項(xiàng)目總投資超 100 億美元，一期投資 25 億美元，將新建月產(chǎn)能為 4 萬(wàn)片的 12 英寸特色集成電路生產(chǎn)線，工藝等級(jí) 90-65/55nm，預(yù)計(jì)分 4-5 年完成一期投資，年均投入 5-6 億美元。目前廠房已通電，正在做潔凈室；預(yù)計(jì) 2019 年 6 月開始工藝設(shè)備進(jìn)廠，截至目前工藝設(shè)備招標(biāo)對(duì)應(yīng)首個(gè) 1 萬(wàn)片/月產(chǎn)能，除輔助設(shè)備外累計(jì)招投標(biāo)約 160 臺(tái)設(shè)備。工藝等級(jí)類似，總投資規(guī)模超 200億元的規(guī)劃項(xiàng)目還有上海積塔半導(dǎo)體、廈門士蘭微項(xiàng)目，均有大量國(guó)產(chǎn)設(shè)備放量機(jī)會(huì)。

截至目前，總體國(guó)產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)的數(shù)量占比 14%，剔除量測(cè)口徑下國(guó)產(chǎn)化率 20%左右。

工藝設(shè)備已中標(biāo)數(shù)據(jù)中，包括光刻機(jī) 3 臺(tái)，刻蝕設(shè)備 18 臺(tái)，CVD20 臺(tái)，離子注入機(jī) 10 臺(tái)，清洗設(shè)備 19 臺(tái)，PVD9 臺(tái)，CMP8 臺(tái)，量測(cè)設(shè)備 53 臺(tái)，還有退火、涂膠、顯影等設(shè)備 17 臺(tái)。

總體國(guó)產(chǎn)設(shè)備占比 14%，不包含量測(cè)設(shè)備口徑下的國(guó)產(chǎn)化率為 21%?？偣灿?158 臺(tái)工藝設(shè)備招標(biāo)，國(guó)產(chǎn)設(shè)備中標(biāo) 22 臺(tái)，進(jìn)口設(shè)備中標(biāo) 136 臺(tái)。

各類關(guān)鍵工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化差異大，刻蝕、清洗、CMP 等國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)明顯。本次招標(biāo)關(guān)鍵工藝設(shè)備中，刻蝕、清洗、CMP、CVD、PVD 的國(guó)產(chǎn)化率依次是 33%、26%、25%、10%、11%，退火設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率 40%，去膠設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率 100%（亦莊國(guó)投已收購(gòu) Mattson）。關(guān)鍵工藝設(shè)備中，離子注入機(jī)、光刻機(jī)、顯影設(shè)備、鍍銅、涂膠等的國(guó)產(chǎn)化率為 0，100%依賴于進(jìn)口品牌。

中微、盛美、北方華創(chuàng)、拓荊、華海清科引領(lǐng)工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化。北方華創(chuàng)中標(biāo) 4 臺(tái)設(shè)備，中微半導(dǎo)體中標(biāo) 5 臺(tái)刻蝕設(shè)備，盛美半導(dǎo)體中標(biāo) 5 臺(tái)清洗設(shè)備，華海清科中標(biāo) 2 臺(tái) CMP 設(shè)備，沈陽(yáng)拓荊中標(biāo) 2 臺(tái) CVD設(shè)備，Mattson 中標(biāo) 4 臺(tái)去膠設(shè)備，合計(jì) 22 臺(tái)設(shè)備。根據(jù)產(chǎn)線進(jìn)度規(guī)劃，我們估計(jì)目前已中標(biāo)的設(shè)備將在三季度陸續(xù)搬運(yùn)進(jìn)廠，三、四季度大概率會(huì)確認(rèn)收入。

投資建議：繼續(xù)看好半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)從華虹（無(wú)錫）項(xiàng)目設(shè)備中標(biāo)看，老牌國(guó)產(chǎn)工藝設(shè)備廠商已在非先進(jìn)制程上具備進(jìn)口替代實(shí)力，將明顯受益于國(guó)內(nèi) 12 英寸特殊集成電路工藝產(chǎn)線建設(shè)。

從 ASML、TSMC 等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈巨頭對(duì)行業(yè)展望看，半導(dǎo)體行業(yè)及半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)周期底部確立，5G、AI、IoT 等開啟新一輪半導(dǎo)體大周期。強(qiáng)烈推薦北方華創(chuàng)、精測(cè)電子、晶盛機(jī)電，建議關(guān)注盛美半導(dǎo)體、長(zhǎng)川科技。

風(fēng)險(xiǎn)因素：中國(guó)大陸存儲(chǔ)廠商投產(chǎn)延緩全球存儲(chǔ)芯片周期復(fù)蘇；中美貿(mào)易戰(zhàn)繼續(xù)影響全球經(jīng)濟(jì)健康發(fā)展